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微流控芯片手板加工,一般使用材料:PC、PMMA。适用于少量实验用。
目前可加工最小微通道:10μm ; 表面光洁度:小于30nm,深宽比可达到1:1。若使用30μm以上的刀具加工,通道宽度≧30μm,可实现3:1的深宽比。
可键合或者单片素材交货。